紫外臭氧分析儀采用的原理：當空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。 紫外臭氧分析儀主要組成部件作用介紹：
1、 紫外吸收池：紫外吸收池應以不與臭氧起化學反應的惰性材料制成，并具有良好的機械穩定性。吸收池的臭氧損失不能大于5%。
2、紫外燈：所產生的紫外光被檢測器接受的254nm的輻射至少占99。5%。
3、光度檢測器：光度檢測器能滿足在254nm波長下測量的靈敏度要求。
4、 臭氧滌除器：空氣樣品經過臭氧滌除器除支臭氧和干擾氣體以后，進入吸收池，并由光度檢測器測出I0。臭氧滌除器的平均壽命由生產廠家給出。然而實際壽命由采樣環境而定。當臭氧滌除器對環境中的臭氧反應明顯降低（線性檢驗精度>1%）時，則應更換臭氧滌除器。
5、采樣泵：采樣泵安裝在氣路的末端，抽吸空氣流過臭氧分析儀，并能在儀器所需的流量和壓力條件下運轉。
6、流量控制器：控制流過臭氧分析儀的空氣流量恒定在選定流量值的誤差±2%范圍以內。
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